扫描电镜的发展是从1873年开始的，首先发现了扫描电镜的基本原理，然后通过一步步的研究从而得到了现在的扫描电镜。

1873Abbe和Helmholfz分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。

1897J.J.Thmson发现电子

1924LouisdeBroglie(1929年诺贝尔物理奖得主）提出电子本身具有波动的物理特性，进一步提供电子显微镜的理论基础。

*1926Busch发现电子可像光线经过玻璃透镜偏折一般，由电磁场的改变而偏折。

1931德国物理学家Knoll及Ruska首先发展出穿透式电子显微镜原型机。

1937首部商业原型机制造成功（MetropolitanVickers牌）。

*1938第一部扫描电子显微镜由VonArdenne发展成功。

1938～39穿透式电子显微镜正式上市（西门子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。

1940～41RCA公司推出美国第一部穿透式电子显微镜（解像力50nm）。

*1941～63解像力提升至2~3Å（穿透式）及100Å（扫描式）

1960EverhartandThornley发明二次电子侦测器。

1965第一部商用SEM出现（Cambridge)

1966JEOL发表第一部商用SEM(JSM-1)

1958年中国科学院组织研制

1959年第一台100KV电子显微镜1975年第一台扫描电子显微镜DX3在中国科学院科学仪器厂（现北京中科科仪技术发展有限责任公司）研发成功

1980年中科科仪引进美国技术，开发KYKY1000扫描电镜